智能机器人芯片制造工艺优化过程中，以下哪些技术或方法被提及用于提高芯片的性能与质量（ ）。

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A:虚拟仿真技术
B:机器学习算法
C:光刻精度控制
D:离子注入剂量调整
E:健康管理系统

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