在光刻工艺中，智能机器人对于保证制造精度的关键作用体现在哪里（ ）。
A:提高曝光光源的强度
B:精确控制机械臂和传感器系统
C:改进光刻胶的配方
D:加快显影液的流动速度
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11-04
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