智能机器人在集成电路制造中实现高精度作业能力，主要依赖于哪些技术的协同工作（ ）。
A:低精度传感器、普通电机和控制系统
B:高精度传感器、高性能伺服电机和精密控制系统
C:人工操作、激光测距和机器视觉
D:简单的机械结构和常规算法
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